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PRISM: Photonics-Informed Inverse Lithography for Manufacturable Inverse-Designed Photonic Integrated Circuits

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Zhou, Hongjian, Yang, Haoyu, Gangi, Nicholas, Xu, Tianle, Huang, Rena, Gu, Jiaqi
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Optics Emerging Technologies
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