Piezoelectric MEMS Phase Modulator for Silicon Nitride Platform in the Visible Spectrum

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Dullo, Firehun T., Thrane, Paul C., Jayakumar, Nikhil, Skokic, Zeljko, Dirdal, Christopher A., Gjessing, Jo, Ahluwalia, Balpreet S.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Optics Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2602.16577