Effect of oxygen content on optical, structural, and dielectric properties of Al$_x$Ta$_y$O$_z$$ thin films

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Ondračka, Pavel, Drevet, Richard, Franta, Daniel, Dvořák, Jan, Ohlídal, Ivan, Vašina, Petr
Formato:	Preprint
Publicado:	2026
Materias:	Materials Science
Acceso en línea:	Acceder al recurso
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

Internet

https://arxiv.org/abs/2602.17302