Tuning of Atomic Layer Deposition Pulse Time through Physics-Informed Bayesian Active Learning

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Navabi, Pouyan, Takoudis, Christos G.
Formato:	Preprint
Publicado:	2026
Materias:	Materials Science Mesoscale and Nanoscale Physics Chemical Physics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2602.18565