Study on the Effect of Annealing on Ga$_2$O$_3$ Thin Films Deposited on Silicon by RF Sputtering

Fuente: arXiv
Gespeichert in:
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Hauptverfasser: Sousa, Ana Sofia, Esteves, Duarte M., Robalo, Tiago T., Rodrigues, Mário S., Lorenz, Katharina, Peres, Marco
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2026
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