Maskless Electron Beam-Induced Etching of Diamond in Air: A Secondary Electron-Driven Mechanism

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Tran, Duc-Duy, Mannequin, Cedric, Donatini, Fabrice, Sasaki, Masahiro, Gheeraert, Etienne
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Materials Science
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https://arxiv.org/abs/2603.28180