Tantalum Damascene Coplanar Waveguide Resonators Fabricated Using 300 mm Scale Processes

Fuente: arXiv

Salvato in:

Dettagli Bibliografici
Autori principali:	Bhatia, Ekta, Du, Yingge, Koirala, Krishna P, Kow, Chung, Liu, Mingzhao, Macy, Juan, Nanayakkara, Tharanga R., Ponce, Francisco, Rao, Satyavolu S. Papa, Rebar, Drew J., Sushko, Peter V., VanDevender, Brent A, Wang, Chongmin, Warner, Marvin G., Xiao, Zhihao
Natura:	Preprint
Pubblicazione:	2026
Soggetti:	Quantum Physics Materials Science
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Accesso online

https://arxiv.org/abs/2604.22086