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Tantalum Damascene Coplanar Waveguide Resonators Fabricated Using 300 mm Scale Processes

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Bhatia, Ekta, Du, Yingge, Koirala, Krishna P, Kow, Chung, Liu, Mingzhao, Macy, Juan, Nanayakkara, Tharanga R., Ponce, Francisco, Rao, Satyavolu S. Papa, Rebar, Drew J., Sushko, Peter V., VanDevender, Brent A, Wang, Chongmin, Warner, Marvin G., Xiao, Zhihao
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Quantum Physics Materials Science
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