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Full-chip CMP modelling based on Fully Convolutional Network leveraging White Light Interferometry

Fuente: arXiv
Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autores principales: Exbrayat, Jules, Bouis, Renan, Sezestre, Elie, Balan, Viorel, Cornelis, Arnaud, Hebras, Damien, Euvrard, Catherine
Formato: Preprint
Publicado: 2026
Materias:
Machine Learning
Acceso en línea:
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