SC-1 Etching of Niobium and Titanium Nitride Thin Films

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Gutiérrez-Cruz, Adrián, Rathnathilaka, K. A. C., Taskinen, Jani M., Vaimala, Tuomas, Grigoras, Kestutis, Mishra, Harshad, Upadhyay, Rishabh, Senior, Jorden, Ronzani, Alberto
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Materials Science Mesoscale and Nanoscale Physics
Online-Zugang:	Acceder al recurso
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Schreiben Sie den ersten Kommentar!

Ähnliche Einträge