LithoGRPO: Fast Inverse Lithography via GRPO Reinforced Flow Matching

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Lai, Yao, Xiong, Xuyuan, Xue, Zeyue, Chen, Guojin, Wang, Jing, Liu, Xihui, Zhang, Rui, Mullins, Robert, Yu, Bei, Luo, Ping
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Machine Learning
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https://arxiv.org/abs/2606.00228