Surface Modification for III-V Selective Area Molecular Beam Epitaxy of Non-Selective Mask Materials

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	García, Ashlee M., Aguilar, Byron D., Doyle, William J., Fathi, Pernille Undrum, Capasso, Federico, Wasserman, Daniel, Bank, Seth R.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Materials Science
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https://arxiv.org/abs/2606.02317