Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN

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Bibliographic Details
Main Author:	Claudia Franco M.
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Universidad de Tarapacá 2005
Subjects:	Ingeniería PVD TiN SEM magnetrón sustratos
Online Access:	Acceder al recurso
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