Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN
Fuente:
Redalyc
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Artículo científico |
| Langue: | es |
| Publié: |
Universidad de Tarapacá
2005
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| _version_ | 1876465105148837888 |
|---|---|
| author | Claudia Franco M. |
| author_facet | Claudia Franco M. |
| contents | Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN Claudia Franco M. Eduardo Valdés C. Guillermo de Anda Rodríguez Rubin Ortega de la Rosa Ingeniería PVD TiN SEM magnetrón sustratos Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temperaturas alrededor de 400°C de sustrato, observándose una significativa variación en el color clásico dorado y la dureza. Los resultados obtenidos mediante SEM (Microscopio Electrónico de Barrido) y difracción de rayos X revelan que hubo un cambio de coloración, composición y dureza al variar las condiciones de tiempo de depositación y distancia de trabajo sobre los sustratos. Esto fue corroborado en los resultados obtenidos por mediciones de dureza con un microdurómetro Mitutoyo. La microscopia electrónica de barrido reveló una morfología columnar. Utilizando un microindentador Vickers se obtuvo la dureza de los recubrimientos para las muestras analizadas. 2005 artículo científico 0717-1072 https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=11413203 es http://www.redalyc.org/revista.oa?id=114 Revista Facultad de Ingeniería application/pdf Universidad de Tarapacá Revista Facultad de Ingeniería (Chile) Num.2 Vol.13 |
| format | Artículo científico |
| id | redalyc_11413203 |
| institution | Redalyc |
| language | es |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Universidad de Tarapacá |
| spellingShingle | Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN Claudia Franco M. Ingeniería PVD TiN SEM magnetrón sustratos Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN Claudia Franco M. Eduardo Valdés C. Guillermo de Anda Rodríguez Rubin Ortega de la Rosa Ingeniería PVD TiN SEM magnetrón sustratos Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temperaturas alrededor de 400°C de sustrato, observándose una significativa variación en el color clásico dorado y la dureza. Los resultados obtenidos mediante SEM (Microscopio Electrónico de Barrido) y difracción de rayos X revelan que hubo un cambio de coloración, composición y dureza al variar las condiciones de tiempo de depositación y distancia de trabajo sobre los sustratos. Esto fue corroborado en los resultados obtenidos por mediciones de dureza con un microdurómetro Mitutoyo. La microscopia electrónica de barrido reveló una morfología columnar. Utilizando un microindentador Vickers se obtuvo la dureza de los recubrimientos para las muestras analizadas. 2005 artículo científico 0717-1072 https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=11413203 es http://www.redalyc.org/revista.oa?id=114 Revista Facultad de Ingeniería application/pdf Universidad de Tarapacá Revista Facultad de Ingeniería (Chile) Num.2 Vol.13 |
| title | Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN |
| topic | Ingeniería PVD TiN SEM magnetrón sustratos |
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