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Dispersión asistida por magnetrón en películas de TiN

Fuente: Redalyc

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Claudia Franco M.
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	es
Publicado:	Universidad de Tarapacá 2005
Materias:	Ingeniería PVD TiN SEM magnetrón sustratos
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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