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Hardness and Stress of Amorphous Carbon Films Deposited by Glow Discharge and Ion Beam Assisting Deposition

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	F. C. Marques
Format:	Artículo científico
Sprache:	en
Veröffentlicht:	Sociedade Brasileira de Física 2000
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas
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