Study of ion beam sputtering using a glow discharge ion source

Fuente: Redalyc

Enregistré dans:

Détails bibliographiques
Auteur principal:	M.M. Abdelrahman
Format:	Artículo científico
Langue:	en
Publié:	Sociedade Brasileira de Física 2010
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas sputtering yield plasma production argon gas pressure Glow discharge ion source
Accès en ligne:	Acceder al recurso
Tags:	Ajouter un tag Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!

Internet