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Study of ion beam sputtering using a glow discharge ion source

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	M.M. Abdelrahman
Format:	Artículo científico
Sprache:	en
Veröffentlicht:	Sociedade Brasileira de Física 2010
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas sputtering yield plasma production argon gas pressure Glow discharge ion source
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