Two dimensional computer simulation of plasma immersion ion implantation
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Artículo científico |
| Language: | en |
| Published: |
Sociedade Brasileira de Física
2004
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| Subjects: | |
| Online Access: | |
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| _version_ | 1866817128210890752 |
|---|---|
| author | M. Ueda |
| author_facet | M. Ueda |
| contents | Two dimensional computer simulation of plasma immersion ion implantation M. Ueda J. J. Barroso K. G. Kostov Física, Astronomía y Matemáticas 2004 artículo científico 0103-9733 https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46434833 en http://www.redalyc.org/revista.oa?id=464 Brazilian Journal of Physics application/pdf Sociedade Brasileira de Física Brazilian Journal of Physics (Brasil) Num.4B Vol.34 |
| format | Artículo científico |
| id | redalyc_46434833 |
| language | en |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Sociedade Brasileira de Física |
| spellingShingle | Two dimensional computer simulation of plasma immersion ion implantation M. Ueda Física, Astronomía y Matemáticas Two dimensional computer simulation of plasma immersion ion implantation M. Ueda J. J. Barroso K. G. Kostov Física, Astronomía y Matemáticas 2004 artículo científico 0103-9733 https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46434833 en http://www.redalyc.org/revista.oa?id=464 Brazilian Journal of Physics application/pdf Sociedade Brasileira de Física Brazilian Journal of Physics (Brasil) Num.4B Vol.34 |
| title | Two dimensional computer simulation of plasma immersion ion implantation |
| topic | Física, Astronomía y Matemáticas |
| url | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46434833 |