Sequential microcontroller-based control for a chemical vapor deposition process

Fuente: Redalyc

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Edgar Serrano Pérez
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	en
Publicado:	Universidad Nacional Autónoma de México 2017
Materias:	Ingeniería Thin films Microcontroller Direct liquid injection Chemical vapor deposition
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