Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus

Fuente: Redalyc

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	E. Gómez-Méndez
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	en
Publicado:	Universidad Nacional Autónoma de México 2020
Materias:	Ingeniería thin films Spin coater photoresist vacuum chuck mechanical design
Acceso en línea:	Acceder al recurso 1 Acceder al recurso 2 Acceder al recurso 3 Acceder al recurso 4 Acceder al recurso 5
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