Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	E. Gómez-Méndez
Format:	Artículo científico
Sprache:	en
Veröffentlicht:	Universidad Nacional Autónoma de México 2020
Schlagworte:	Ingeniería thin films Spin coater photoresist vacuum chuck mechanical design
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