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Deposición selectiva de cobre utilizando CVD

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	Carlos Ríos Martínez
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Química de México 2000
Subjects:	Multidisciplinaria (Ciencias Naturales y Exactas) CVD cobre película deposición selectiva deposición química de vapor
Online Access:	Acceder al recurso
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