Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento térmico in situ de películas delgadas depositadas por rf-sputtering

Fuente: Redalyc

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	A. Márquez-Herrera
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	es
Publicado:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2010
Materias:	Física, Astronomía y Matemáticas Películas delgadas tratamientos térmicos sistema de calentamiento
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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