Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento térmico in situ de películas delgadas depositadas por rf-sputtering

Fuente: Redalyc

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	A. Márquez-Herrera
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2010
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas Películas delgadas tratamientos térmicos sistema de calentamiento
Online Access:	Acceder al recurso
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

Internet