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Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento térmico in situ de películas delgadas depositadas por rf-sputtering

Fuente: Redalyc

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	A. Márquez-Herrera
Natura:	Artículo científico
Lingua:	es
Pubblicazione:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2010
Soggetti:	Física, Astronomía y Matemáticas Películas delgadas tratamientos térmicos sistema de calentamiento
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