Preparación de películas delgadas del sistema Ti-Al-O mediante rf-sputtering

Fuente: Redalyc

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	J.A. Montes de Oca
Format:	Artículo científico
Langue:	es
Publié:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2010
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas rf Al sputtering sistema Ti Películas delgadas
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