Characterization of ALN thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering

Fuente: Redalyc

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	M. García-Méndez
Format:	Artículo científico
Langue:	en
Publié:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2008
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas AlN thin films Reactive sputtering
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