Estructura y morfología de películas de pm-Si:H crecidas por PECVD variando la dilución de diclorosilano con hidrógeno y la presión de trabajo

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	C. Álvarez-Macías
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2011
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas AFM Raman nanocristales Silicio polimorfo hidrogenado
Online Access:	Acceder al recurso
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