Efecto de la temperatura de substrato en las propiedades estructurales, ópticas y ferroelóctricas de películas delgadas de BaTiO3 depositadas por RF sputtering

Fuente: Redalyc

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	A. Márquez-Herrera
Format:	Artículo científico
Langue:	es
Publié:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2012
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas Películas delgadas tratamientos térmicos sistema de calentamiento
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