Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures

Fuente: Redalyc

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	G. Rehder
Format:	Artículo científico
Language:	en
Published:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2006
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas MEMS Joule effect silicon carbide
Online Access:	Acceder al recurso
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

Internet