Optical and structural characterization of TiOx Ny films deposited by reactive magnetron sputtering

Fuente: Redalyc

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	E. Hernández-Rodríguez
Format:	Artículo científico
Langue:	en
Publié:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2009
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas
Accès en ligne:	Acceder al recurso
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