Castillo, J. P. (2007). P+ shallow junctions with high energy and high concentration of B or BF2 ion implants. Sociedad Mexicana de Física A.C.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Castillo, J. Plaza. P+ Shallow Junctions with High Energy and High Concentration of B or BF2 Ion Implants. Sociedad Mexicana de Física A.C, 2007.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Castillo, J. Plaza. P+ Shallow Junctions with High Energy and High Concentration of B or BF2 Ion Implants. Sociedad Mexicana de Física A.C, 2007.
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