Fabrication and characterization of un-cooled micro-bolometers based on silicon germanium thin films obtained by low frequency plasma deposition
Fuente:
Redalyc
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Artículo científico |
| Lenguaje: | en |
| Publicado: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2007
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| Materias: | |
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