Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS
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Redalyc
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| Auteur principal: | C. Álvarez-Macias |
|---|---|
| Format: | Artículo científico |
| Langue: | es |
| Publié: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2007
|
| Sujets: | |
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