Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS
Fuente:
Redalyc
Salvato in:
| Autore principale: | C. Álvarez-Macias |
|---|---|
| Natura: | Artículo científico |
| Lingua: | es |
| Pubblicazione: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2007
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|
Documenti analoghi
Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares
di: R. Leal-Romero
Pubblicazione: (2010)
di: R. Leal-Romero
Pubblicazione: (2010)
Crecimiento de silicio monocristalino / Alejandro Pedroza, Elsa Chavira, Raúl Fournier
di: Pedroza, Alejandro
Pubblicazione: (1986)
di: Pedroza, Alejandro
Pubblicazione: (1986)
Los Microacelerómetros en la Actualidad
di: Agustín Leobardo Herrera May
Pubblicazione: (2008)
di: Agustín Leobardo Herrera May
Pubblicazione: (2008)
Estructura y morfología de películas de pm-Si:H crecidas por PECVD variando la dilución de diclorosilano con hidrógeno y la presión de trabajo
di: C. Álvarez-Macías
Pubblicazione: (2011)
di: C. Álvarez-Macías
Pubblicazione: (2011)
Técnica fotoacústica aplicada a la determinación de propiedades térmicas de muestras de silicio poroso
di: A. Gutiérrez
Pubblicazione: (2011)
di: A. Gutiérrez
Pubblicazione: (2011)
Analysis of MEMS structures to identify their frequency response oriented to acoustic applications
di: F. J. Ibarra-Villegas
Pubblicazione: (2015)
di: F. J. Ibarra-Villegas
Pubblicazione: (2015)
Integration of bio, nano, micro and cogno in biosensor devices for human health applications
di: L.M. Lechuga
Pubblicazione: (2005)
di: L.M. Lechuga
Pubblicazione: (2005)
Design of capacitive MEMS transverse-comb accelerometers with test hardware
di: F. J. Ibarra-Villegas
Pubblicazione: (2013)
di: F. J. Ibarra-Villegas
Pubblicazione: (2013)
Calidad cristalina del ZnSe obtenido por transporte químico con I2 como portador gaseoso
di: M.C. Di Stefano
Pubblicazione: (2007)
di: M.C. Di Stefano
Pubblicazione: (2007)
Micro sensor-actuador térmico sin baterías para aplicaciones en microelectrónica de ultra-bajo consumo de potencia
di: J. Varona
Pubblicazione: (2013)
di: J. Varona
Pubblicazione: (2013)
Hueco grabado menos tóxico mediante film de fotopolímero
di: Salomón Isaac Chaves Badilla
Pubblicazione: (2008)
di: Salomón Isaac Chaves Badilla
Pubblicazione: (2008)
Modelado analítico de un micro generador de potencia basado en tecnología MEMS y materiales piezoeléctricos
di: R. I. Rincon-Jara
Pubblicazione: (2012)
di: R. I. Rincon-Jara
Pubblicazione: (2012)
De la alquimia al grabado metálico sin ácido: II. Una guía simple para el grabado electroquímico
di: Olger Arias
Pubblicazione: (2007)
di: Olger Arias
Pubblicazione: (2007)
Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures
di: G. Rehder
Pubblicazione: (2006)
di: G. Rehder
Pubblicazione: (2006)
Design and simulation of a membranes-based acoustic sensors array for cochlear implant applications
di: G. Quiroz
Pubblicazione: (2014)
di: G. Quiroz
Pubblicazione: (2014)
Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio
di: R. Sánchez-Fraga
Pubblicazione: (2014)
di: R. Sánchez-Fraga
Pubblicazione: (2014)
Analysis of the potential upon the floating gate of an FGMOSFET used as a gas sensor
di: M. A. Reyes-Barranca
Pubblicazione: (2008)
di: M. A. Reyes-Barranca
Pubblicazione: (2008)
Análisis descriptivo morfoestructural mediante microscopía electrónica de barrido del efecto sobre el esmalte de la técnica de grabado ácido convencional y una nueva técnica de grabado ácido aplicada en 2 tiempos operatorios.
di: Marcelo Badder Mattar
Pubblicazione: (2014)
di: Marcelo Badder Mattar
Pubblicazione: (2014)
Thermal model for a microhot plate used in a MEM gas sensor
di: M. Alfredo Reyes-Barranca
Pubblicazione: (2008)
di: M. Alfredo Reyes-Barranca
Pubblicazione: (2008)
Química y tecnología del silicio : Diez años de investigación en Guanajuato / Jorge A. Cervantes
di: Cervantes, Jorge A
Pubblicazione: (1994)
di: Cervantes, Jorge A
Pubblicazione: (1994)
Grado de microfiltración marginal utilizando adhesivos con técnica grabado total y grabado selectivo del esmalte
di: Luis Omar Castro Fuentes
Pubblicazione: (2018)
di: Luis Omar Castro Fuentes
Pubblicazione: (2018)
Análisis Comparativo del Rendimiento de los Módulos Fotovoltaicos Monocristalino y Policristalino bajo Condiciones Climáticas de Fusagasugá
di: Luisa F. Sanabria Pérez
Pubblicazione: (2019)
di: Luisa F. Sanabria Pérez
Pubblicazione: (2019)
Estudio del efecto de distintos promotores en la reacción directa entre silicio y cloruro de metilo
di: Jorge Cervantes Jáuregui, Arturo Zizumbo López, Alberto Florentino Aguilera, Alvarado José Emigdio, Frausto Romero, Bonfilio Acosta Solís y Francisco Javier Luna García
Pubblicazione: (2003)
di: Jorge Cervantes Jáuregui, Arturo Zizumbo López, Alberto Florentino Aguilera, Alvarado José Emigdio, Frausto Romero, Bonfilio Acosta Solís y Francisco Javier Luna García
Pubblicazione: (2003)
Packaging investigation and study for optical interfacing of micro components with optical fibers - Part II
di: Jose Mireles Jr.
Pubblicazione: (2007)
di: Jose Mireles Jr.
Pubblicazione: (2007)
Packaging investigation and study for optical interfacing of micro components with optical fibers - Part I
di: Jose Mireles Jr.
Pubblicazione: (2007)
di: Jose Mireles Jr.
Pubblicazione: (2007)
Structural and electro-thermal analysis of a magnetic resonant sensor structure based on Lorentz force
di: E. Morales-González
Pubblicazione: (2006)
di: E. Morales-González
Pubblicazione: (2006)
Packaging investigation and study for optical interfacing of micro components with optical fibers - Part II
di: Jose Mireles Jr.
Pubblicazione: (2008)
di: Jose Mireles Jr.
Pubblicazione: (2008)
Análisis y caracterización de un acelerómetro capacitivo fabricado con tecnología polymump's
di: R. I Rincon-Jara
Pubblicazione: (2010)
di: R. I Rincon-Jara
Pubblicazione: (2010)
Implementación de los plásticos en el grabado y la estampación
di: Mª Rosa Vives Piqué
Pubblicazione: (2010)
di: Mª Rosa Vives Piqué
Pubblicazione: (2010)
Design and analysis of a MEMS variable capacitor using thermal actuators
di: José Mireles
Pubblicazione: (2006)
di: José Mireles
Pubblicazione: (2006)
Digital Rate MEMS Vibratory Gyroscope Modeling, Tuning and Simulation Results
di: Valerii V. Chikovani
Pubblicazione: (2017)
di: Valerii V. Chikovani
Pubblicazione: (2017)
Simulación fotovoltaica considerando parámetros de integración en edificaciones
di: Ismael F. Izquierdo-Torres
Pubblicazione: (2019)
di: Ismael F. Izquierdo-Torres
Pubblicazione: (2019)
Cantidad de días con lluvia y su distribución por intervalos en condiciones normales y de sequía severa en el occidente de Cuba
di: Iongel Durán Llacer
Pubblicazione: (2016)
di: Iongel Durán Llacer
Pubblicazione: (2016)
Acercamientos al grabado
di: Francisco Hernández Chavarría
Pubblicazione: (2017)
di: Francisco Hernández Chavarría
Pubblicazione: (2017)
Efectos de la forma y la superficie en las propiedades opticas del silicio poroso
di: Tagûeña-Martinez J., Lugo J.E., y del Rio J.A
Pubblicazione: (1998)
di: Tagûeña-Martinez J., Lugo J.E., y del Rio J.A
Pubblicazione: (1998)
Estudio de la cinetica de auto-intersticiales de silicio usando membranas de silicio bajo oxinitracion termica
di: Carrillo-Lopez J. et al
Pubblicazione: (1999)
di: Carrillo-Lopez J. et al
Pubblicazione: (1999)
Cronología relativa en grabados rupestres de Arona (Tenerife, islas Canarias)
di: Juan Francisco Navarro Mederos
Pubblicazione: (2020)
di: Juan Francisco Navarro Mederos
Pubblicazione: (2020)
Control de la profundidad de impacto de un actuador electromagnético para grabado de alta precisión
di: E. Castillo-Castañeda
Pubblicazione: (2008)
di: E. Castillo-Castañeda
Pubblicazione: (2008)
Imágenes de despertar Los grabados de José Antonio Suárez Londoño (1997-2006)
di: Orlando Martínez
Pubblicazione: (2006)
di: Orlando Martínez
Pubblicazione: (2006)
O silício em águas subterrâneas do Brasil
di: Fábio Tadeu Lazzerini
Pubblicazione: (2014)
di: Fábio Tadeu Lazzerini
Pubblicazione: (2014)
Documenti analoghi
-
Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares
di: R. Leal-Romero
Pubblicazione: (2010) -
Crecimiento de silicio monocristalino / Alejandro Pedroza, Elsa Chavira, Raúl Fournier
di: Pedroza, Alejandro
Pubblicazione: (1986) -
Los Microacelerómetros en la Actualidad
di: Agustín Leobardo Herrera May
Pubblicazione: (2008) -
Estructura y morfología de películas de pm-Si:H crecidas por PECVD variando la dilución de diclorosilano con hidrógeno y la presión de trabajo
di: C. Álvarez-Macías
Pubblicazione: (2011) -
Técnica fotoacústica aplicada a la determinación de propiedades térmicas de muestras de silicio poroso
di: A. Gutiérrez
Pubblicazione: (2011)