Estudio de películas amorfas de TiAlN preparadas por erosión catódica reactiva por radiofrecuencias

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	F. J. Espinoza Beltrán
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2004
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas micos TiAlN Pel&#305 culas amorfas enlaces qu&#305
Online Access:	Acceder al recurso
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