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Estudio de películas amorfas de TiAlN preparadas por erosión catódica reactiva por radiofrecuencias

Fuente: Redalyc

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	F. J. Espinoza Beltrán
Natura:	Artículo científico
Lingua:	es
Pubblicazione:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2004
Soggetti:	Física, Astronomía y Matemáticas micos TiAlN Pel&#305 culas amorfas enlaces qu&#305
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