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XANES and EXAFS study of the TiN Thin films grown by the pulsed DC sputtering technique assisted by balanced magnetron

Fuente: Redalyc

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	I. Yocupicio
Format:	Artículo científico
Langue:	en
Publié:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2007
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas TiN PLD thin films Nitruration
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