Diseño y fabricación de un aparato para el depósito de películas delgadas por el método de rotación

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	Iliana Ernestina Medina Ramírez
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Universidad Autónoma de Aguascalientes 2009
Subjects:	Multidisciplinarias (Ciencias Sociales) Depósito construcción semiconductores películas delgadas método de rotación
Online Access:	Acceder al recurso
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