EOT sub-nanométrico y degradación de la movilidad: ¿hacia un límite físico con las técnicas de fabricación modernas?

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	Lionel Trojman
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Universidad San Francisco de Quito 2010
Subjects:	Multidisciplinaria (Ciencias Naturales y Exactas) sub high MOSFET 1nm EOT mobility
Online Access:	Acceder al recurso
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