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PARAMETERIZED LAYOUT SYNTHESIS OF A CMOS-COMPATIBLE SCANNING MICROMIRROR WITH ELECTROTHERMAL ACTUATION AND BIMODAL RESONANT BEHAVIOR

Fuente: Redalyc

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Sergio Camacho León
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	en
Publicado:	Universidad de Guadalajara 2011
Materias:	Multidisciplinarias (Ciencias Sociales) CMOS Microsystems optical imaging design methodology multiphysics modeling
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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