Buchumschlag

PARAMETERIZED LAYOUT SYNTHESIS OF A CMOS-COMPATIBLE SCANNING MICROMIRROR WITH ELECTROTHERMAL ACTUATION AND BIMODAL RESONANT BEHAVIOR

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Sergio Camacho León
Format:	Artículo científico
Sprache:	en
Veröffentlicht:	Universidad de Guadalajara 2011
Schlagworte:	Multidisciplinarias (Ciencias Sociales) CMOS Microsystems optical imaging design methodology multiphysics modeling
Online-Zugang:	Acceder al recurso
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