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Síntesis y estudio del efecto del sustrato sobre las propiedades morfológicas de películas delgadas de Silicio intrínseco

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	Anderson Dussan Cuenca
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Universidad Libre 2010
Subjects:	Ingeniería AFM Silicio películas sólidas finas
Online Access:	Acceder al recurso
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