Uso del microscopio confocal para la caracterización dimensional en micromecanizados (step height)

Fuente: Redalyc
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Autore principale: Orlando Guarneros García
Natura: Artículo científico
Lingua:es
Pubblicazione: Sociedad Mexicana de Ingeniería Mecánica 2012
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author Orlando Guarneros García
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contents Uso del microscopio confocal para la caracterización dimensional en micromecanizados (step height) Orlando Guarneros García Jesús de Vicente y Oliva José Luis Ocaña Moreno Mauro Eduardo Maya Méndez Sandra Luz Rodríguez Reyna Dora Erika Espericueta González Ingeniería Metrología Metrología calibración calibración microscopía confocal La elaboración de dispositivos cuyas dimensiones son del orden de los micrómetros requiere sistemas de medición que verifiquen no sólo sus características cualitativas sino también cuantitativas. Aún cuando existen una gran gama de equipos que pueden ser utilizados para este fin, la microscopía confocal se da a conocer como una técnica viable en el campo de la ingeniería, inclusive algunos fabricantes están especializando sus equipos en las áreas de ingeniería de materiales y en aspectos meramente dimensionales. Sin embargo, es necesario estimar su incertidumbre y asociarle el grado de dispersión que le corresponde. En el presente trabajo se muestra cómo obtener la diferencia de alturas en superficies topográficas generadas en 3D, para ello se utiliza un patrón de alturas y se realiza toda una serie de pruebas que consideran entre otras cosas; el objetivo utilizado y sus diferentes amplificaciones, el campo de medida y la posición del mensurando. Finalmente se analiza toda la información mediante el uso de gráficas que muestran las incertidumbres estimadas a lo largo de todo el proceso. 2012 artículo científico 1665-7381 https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=76824026002 es http://www.redalyc.org/revista.oa?id=768 Ingeniería Mecánica. Tecnología y Desarrollo application/pdf Sociedad Mexicana de Ingeniería Mecánica Ingeniería Mecánica. Tecnología y Desarrollo (México) Num.2 Vol.4
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publishDate 2012
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Uso del microscopio confocal para la caracterización dimensional en micromecanizados (step height) Orlando Guarneros García Jesús de Vicente y Oliva José Luis Ocaña Moreno Mauro Eduardo Maya Méndez Sandra Luz Rodríguez Reyna Dora Erika Espericueta González Ingeniería Metrología Metrología calibración calibración microscopía confocal La elaboración de dispositivos cuyas dimensiones son del orden de los micrómetros requiere sistemas de medición que verifiquen no sólo sus características cualitativas sino también cuantitativas. Aún cuando existen una gran gama de equipos que pueden ser utilizados para este fin, la microscopía confocal se da a conocer como una técnica viable en el campo de la ingeniería, inclusive algunos fabricantes están especializando sus equipos en las áreas de ingeniería de materiales y en aspectos meramente dimensionales. Sin embargo, es necesario estimar su incertidumbre y asociarle el grado de dispersión que le corresponde. En el presente trabajo se muestra cómo obtener la diferencia de alturas en superficies topográficas generadas en 3D, para ello se utiliza un patrón de alturas y se realiza toda una serie de pruebas que consideran entre otras cosas; el objetivo utilizado y sus diferentes amplificaciones, el campo de medida y la posición del mensurando. Finalmente se analiza toda la información mediante el uso de gráficas que muestran las incertidumbres estimadas a lo largo de todo el proceso. 2012 artículo científico 1665-7381 https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=76824026002 es http://www.redalyc.org/revista.oa?id=768 Ingeniería Mecánica. Tecnología y Desarrollo application/pdf Sociedad Mexicana de Ingeniería Mecánica Ingeniería Mecánica. Tecnología y Desarrollo (México) Num.2 Vol.4
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