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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	M. Arroyave
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	es
Publicado:	Universidad de Tarapacá 2015
Materias:	Ingeniería DLC ECVD microondas películas delgadas simulación numérica
Acceso en línea:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=77233740010
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