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Structural and Morphological Properties of Titanium Aluminum Nitride Coatings Produced by Triode Magnetron Sputtering

Fuente: Redalyc

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	D.M. Devia
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	en
Publicado:	Universidad EAFIT 2014
Materias:	Ingeniería XRD TiAlN sputtering bias voltage Atomic percentage
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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