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PELÍCULAS DELGADAS DE NITRURO DE ALUMINIO (AlN)

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	JAIME ANDRÉS PÉREZ TABORDA
Format:	Artículo científico
Sprache:	es
Veröffentlicht:	Universidad Tecnológica de Pereira 2011
Schlagworte:	Ingeniería Ablación Láser Magnetrón Sputtering Difracción de Rayos X Nitruro de Aluminio (AlN)
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