Deposición de películas de carbono amorfo hidrogenado usando la técnica DC-pulsada PACVD
Fuente:
Redalyc
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Artículo científico |
| Lenguaje: | es |
| Publicado: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2018
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | |
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