Deposición de películas de carbono amorfo hidrogenado usando la técnica DC-pulsada PACVD

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	César Orlando Vargas Barrera
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Universidad Tecnológica de Pereira 2018
Subjects:	Ingeniería PACVD Diamond Microestructura like carbon (DLC) Propiedades mecánicas
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