Formation of electrical conductive hard-carbon (DLC) films using i C4H10/N2 supermagnetron plasma

Fuente: Redalyc
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Auteur principal: Jun Takahashi
Format: Artículo científico
Langue:en
Publié: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 1999
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