High deposition rate a-Si:H layers from pure SiH4 and from a 10% dilution of SiH4 in H2

Fuente: Redalyc
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1. Verfasser: M. Estrada
Format: Artículo científico
Sprache:en
Veröffentlicht: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 1999
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