Short thermal annealing for crystallization of plasma-CVD amorphous silicon films
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Redalyc
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| 1. Verfasser: | Yasuhiro Matsumoto |
|---|---|
| Format: | Artículo científico |
| Sprache: | es |
| Veröffentlicht: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2000
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