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Monitoring of silicon nitride films grown by PLD using real time single photon-energy ellipsometry

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	G. Soto
Format:	Artículo científico
Sprache:	en
Veröffentlicht:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 1997
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas
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