Análisis y caracterización de un acelerómetro capacitivo fabricado con tecnología polymump's

Fuente: Redalyc

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	R. I Rincon-Jara
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2010
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas Acelerómetro Masa sísmica Sensores capacitivos Frecuencia de resonancia MEMS (Sistemas Micro Electromecánicos)
Online Access:	Acceder al recurso
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

Internet